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真空爐按結(jié)構(gòu)分可分為立式及臥式兩種系列,立式系列又分為鐘罩升降式與底部托盤升降式兩種。臥式系列又分單開門結(jié)構(gòu)與前后雙開門結(jié)構(gòu)兩種。爐體均采用水冷夾壁結(jié)構(gòu)。
熱壓爐具有工作溫度高、真空度高、結(jié)合壓力大、冷卻條件好等優(yōu)點(diǎn),整個(gè)爐體除發(fā)熱體和保溫部分外,其余各部?位均可快速冷卻,安全性能耗。
真空回火爐爐體與爐門均為雙壁水冷結(jié)構(gòu),內(nèi)外壁均采用碳素鋼制造。爐體與爐門之間為雙向密封結(jié)構(gòu),用鎖緊圈鎖緊,保證了真空爐在負(fù)壓和正壓氣冷時(shí)的密封
真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。
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